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Layertec 反射鏡,輸出耦合器和鏡片

簡要描述:Layertec 反射鏡,輸出耦合器和鏡片
銀鏡的反射率可以通過介電涂層來提高。必須精確指增強反射率的帶寬。在該頻帶之外,反射鏡的反射率可能低于標準銀鏡的反射率。

  • 產品品牌:其他品牌
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-06-03
  • 訪  問  量:785

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詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
組件類別光學元件應用領域醫療衛生,環保,化工,電子,綜合

Layertec 反射鏡,輸出耦合器和鏡片


圖1:隨機偏光(a)的反射鏡(AOI = 45°)在193 nm下的測量的反射率和透射光譜(a)和在兩面都涂有193 nm氟化物AR涂層的CaF2窗口(b)

Ø所有氟化物系統均確保高反射率和高損傷閾值

ØPR涂層的公差為:

ر 2% for R = 10 ... 30 %

ر 3% for R = 30 ... 75 %

ر 2% for R = 75 ... 90 % and

ر 1% for R > 90 %

ØCaF2(肖特公司193nm受激準分子級)和熔融石英的高質量鏡面基板,窗口片和透鏡

Ø根據客戶要求開發和生產特定組件,例如分束器和可變衰減器

Ø單波長增透膜,剩余反射率在AOI = 0°時R <0.25%,在AOI = 45°時R <0.6%(非偏振光)

Ø寬帶和多波長增透膜

可變衰減器


圖2:在不同的AOI(a)和透射率與AOI(b)下測得的可變衰減器的透射率光譜; 透射率從AOI = 0°時的T> 88%到AOI = 45°時的T <2%

Ø可根據要求提供不同傳輸范圍的衰減器

Ø衰減器可以與CaF2熔融石英的AR涂層補償板一起提供

鋁反射鏡


圖3:優化了針對193nm的受保護Al鏡(a)和針對193nm的增強Al鏡(AOI = 45°(b))的測量反射光譜

增強鋁鏡:Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%

有關鋁鏡的更多信息,請參見目錄中的96-97頁。

 

標準ArF激光元件的技術參數

Coating

Substrate

Damage threshold*

Lifetime test

    

Fluoride coatings

   

AR (0°, 193nm) R < 0.25%

CaF2

4 – 5 J/cm2

2.5 x 108
pulses, no damage**

AR (0°, 193nm) R < 0.25%

fused silica

2 – 3 J/cm2

 

PR (0°, 193nm) R = 25%

CaF2

3 – 4 J/cm2

2.5 x 108
pulses, no damage**

PR (0°, 193nm) R = 50%

CaF2

2 – 3 J/cm2

109
pulses***

HR (0°, 193nm) R > 96%

CaF2

2 – 3 J/cm2

109
pulses***, no damage
1010
pulses****, no damage
4 x 109
pulses*****, no damage

HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized)

CaF2

2 – 3 J/cm2

 

Oxide coatings

   

HR (0°, 193nm) R>92%

fused silica

<1 J/cm2

 

1)1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學進行了測量

2)能量密度:18mJ / cm 2,重復頻率:4kHz,脈沖持續時間:30ns; 在哥德根的COHERENT AG進行測試

3)能量密度:55mJ / cm 2,重復率:1kHZ,脈沖持續時間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

4)能量密度:27mJ / cm 2,重復頻率:4kHz,脈沖持續時間:30ns; 在哥德根的COHERENT AG進行測試

5)能量密度:80mJ / cm 2,重復頻率:1kHz,脈沖持續時間:12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

Layertec 反射鏡,輸出耦合器和鏡片


圖1:157nm的激光鏡(AOI = 0°,a)和轉向鏡(AOI = 45°,b)的測量反射率和透射光譜

Ø激光鏡:AO = 0°時R = 92 ... 95%

Ø轉向鏡(AOI = 45°):

ØRs
> 97%

ØRp
> 90%

ØRr
> 92%

ØCaF2的高品質鏡面基板,窗口片和鏡片(肖特公司157nm受激準分子級品質)

Ø具有公差的PR涂層

ر 2 % for R = 10 ... 30 %

ر 3 % for R = 30 ... 75 % and

ر 2 % for R = 75 ... 90 %

Ø根據客戶要求開發和生產特定組件,例如分束器和可變衰減器


圖2:標準輸出耦合器在R = 50±3%和R = 25±2%時測得的反射光譜(背面未鍍膜)

可變衰減器


圖3:可變衰減器在不同AOI(a)和透射率與AOI(b)下測得的透射光譜透射率從AOI = 0°時的T> 75%到AOI = 45°時的T <5%

F2激光鋁鏡


圖4:受保護的Al鏡(a)和增強型Al鏡在157nm下的反射光譜(b)

受保護的鋁鏡(針對157nm進行了優化):R = 74 ... 78%

電介質增強型鋁鏡:AOI = 0°時R = 94%

有關鋁鏡的更多信息,請參閱我們的目錄中的第96 - 97頁。

標準F2激光組件的技術數據

Coating

Spectral performance

Lifetime test

HR (0°, 157nm)

R = 92 ... 95 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

HR (45°, 157nm)

R = 90 ... 94 % (random pol.)

 

PR (0°, 157nm)

R = 50 ± 3 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

PR (0°, 157nm)

R = 25 ± 3 %

2 x 108
– 1 x 109
pulses*

Attenuator

T = 67 ± 3 %

5 x 107
pulses**, no damage

Attenuator

T = 33 ± 3 %

1 x 108
pulses***, no damage

Beam splitter

T = 20 ± 3 %

1 x 108
pulses***, no damage

AR (0°, 157nm)

0.3 ... 0.7 %

 

*能量密度:25mJ / cm2,重復頻率:800Hz,脈沖持續時間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

**能量密度:15mJ / cm 2,速率:200Hz,脈沖持續時間:20ns; 在光電技術研究所(IPHT)耶拿研究所進行測試

***能量密度:20 mJ / cm2,速率:50Hz,脈沖持續時間:20ns; 在光電技術研究所(IPHT)耶拿研究所進行測試

反光鏡和部分反射鏡

Ø對于s和p偏振光,在AOI = 0°和AOI = 45°時R> 99.9%的HR腔和轉向鏡

Ø典型反射率:R> 99.95%

Ø對于特殊要求,我們保證R> 99.99%(帶腔環下降測量的交貨)

Ø光譜帶寬約70 nm,1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2(cw)和> 50J / cm2(10 ns)


圖1:高功率腔鏡(a)和具有不同反射率的輸出耦合器(b)的反射光譜

分光鏡和輸出耦合器,反射率經過精確調節

Reflectance

Tolerance

R > 95%

± 0.5%

R = 80 ... 95%

± 1%

R = 10 ... 80%

± 2%

Ø泵浦鏡HR(0°,1064 nm)> 99.9%+ R(0°,808 nm)<2%

Ø光束分離器,合束器和掃描鏡

Ø另外,此處也介紹了Nd:YAG / Nd:YVO4激光器諧波的光學器件(在我們的目錄第40-45頁中)


圖2:導光鏡HR(1064 nm)+ PR(630-670 nm)的反射光譜在AOI = 45°(a)時的s-,p-和隨機偏振,以及在不同AOI時的隨機偏振(用作 掃描鏡)(b)

Ø薄膜偏振片

Ø分離光的s和p偏振分量(反射s偏振光并透射p偏振光)

Ø可以在AOI> 40°的情況下生產TFP,但是如果使用AOI≈55°(布魯斯特角),偏振是*的,并且會出現在寬波長范圍內

Ø典型偏振比:AOI = 45°或55°時,Tp / Ts> 500

Ø可以進行極化比Tp / Ts高達10000的特殊設計

Ø較高的激光損傷閾值(適用于腔內應用)

Ø通過改進的空腔環形設置,可以高精度測量用于p偏振光的薄膜偏振片的透射率


圖3:對于s和p偏振光,AOI = 55°(布魯斯特角)的標準TFP的反射光譜

非偏振分束器

Ø對于AOI = 45°和不同程度的反射率,Rs?Rp(| Rs – Rp | <1.5%)的分束器

Ø最常見的類型:

o Rs,p = 66±1%

o Rs,p = 50±2%

o Rs,p = 33±3%

Ø所有具有背面AR(Rs?Rp≤0.6%)的非偏振分束器


圖4:3種類型的非偏振分束器的反射光譜(AOI = 45°)

 

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